高純氣體匯流排：指瓶裝高壓氣體，通過此設(shè)備減壓到一定的使用壓力，是集中供氣體的一種設(shè)備。匯流排由左右兩根匯流主管道組成，中間有四只高壓閥門，分別控制左右兩組匯流管，每組有相當(dāng)數(shù)量的分閥，軟管及卡具連接氣瓶，中間裝有一塊高壓表，用來檢測匯流管內(nèi)的壓力，高壓閥門上方分別有兩組減壓器，以便控制調(diào)節(jié)使用壓力及流量，減壓器上方分別有兩只低壓閥門，用來控制兩排匯流切換時(shí)的低壓氣體，匯流低壓主管道裝有一只低壓總閥門，用來控制低壓管道的氣體。